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具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置
| 专利名称： | 具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置 |
| 摘要： | 具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置(R/M)，其特征是，安全挡板 设置在晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形 框架结构上，用安全挡板将原先的晶舟盒导轨传动装置(R/M)的完整空 间分割成大小相等的多个小空间，形成网格结构，安全挡板固定于晶片存 储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上。 安全挡板的形状是中间向外突出的折弯形，向外突出的中间部分与两个侧 边部分之间的夹角分别是150度±1度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 发明人： | 张银娟;郑文国 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-09-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510030271.2 |
| 公开号： | CN1941313 |
| 代理机构： | 上海新高专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 楼仙英 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203上海市浦东新区张江路18号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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