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一种可提高转移安全性的晶舟转换器
| 专利名称： | 一种可提高转移安全性的晶舟转换器 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初 始晶舟转移至目的晶舟。现有技术并未设置压力侦测单元，致使在初始晶舟和 目的晶舟未对齐或两者与顶推机构未对齐时损毁晶圆。本实用新型具有底座和 顶推机构，该底座上具有导轨、用于驱动顶推机构沿导轨运动的驱动装置和用 于控制驱动装置的控制模块，该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设 置在该从动件上的连接件和垂直设置在该连接件上的顶推件，该从动件与该连 接件间设置有一压力侦测单元，其侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压 力值时发出 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 发明人： | 赵俊深;吕秋玲;杨洪春;徐萍英 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-01-31T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200820055287.8 |
| 公开号： | CN201163621 |
| 代理机构： | 上海思微知识产权代理事务所 |
| 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203上海市张江路18号 |
| 主权项： | 1、一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目 的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座和一设置在 底座一侧且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构，该底座上具有 容纳该顶推机构的导轨、一用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置和一用 于控制该驱动装置的控制模块，该顶推机构具有一设置在导轨中的从动件、一 垂直设置在该从动件上的连接件以及一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆 的顶推件，其特征在于，该从动件与该连接件间设置有一压力侦测单元，该压 力侦测单元侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信 号，该控制模块接收到该触发信号时，其停止控制该驱动装置驱动该顶推机构。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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