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一种可提高转移灵活性的晶舟转换器
| 专利名称： | 一种可提高转移灵活性的晶舟转换器 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种可提高转移灵活性的晶舟转换器，用于将晶圆从初 始晶舟转移至目的晶舟。现有技术的顶推件为一体件，其仅能将初始晶舟中所 有的晶圆同时转移到目的晶舟，无法进行选择性的转移。本实用新型具有底座 和顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨和用于驱动该顶推机构沿导 轨运动的驱动装置，该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设置在该从 动件上的连接件以及垂直设置在该连接件上的顶推件，该顶推件对应晶舟的每 一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单元轴接在该连接件上且其对应是否用于 顶推晶圆而 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 发明人： | 赵俊深;吕秋玲;杨洪春 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-01-31T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200820055269.X |
| 公开号： | CN201163620 |
| 代理机构： | 上海思微知识产权代理事务所 |
| 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203上海市张江路18号 |
| 主权项： | 1、一种可提高转移灵活性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目 的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座和一设置在 底座一侧且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构，该底座上具有 容纳该顶推机构的导轨和一用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置，该顶 推机构具有一设置在导轨中的从动件、一垂直设置在该从动件上的连接件以及 一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆的顶推件，其特征在于，该顶推件对 应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单元轴接在该连接件上且其对 应是否用于顶推晶圆而具有顶推位和闲置位。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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