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原文传递水平手动式晶舟转换器防护装置

专利名称：	水平手动式晶舟转换器防护装置
摘要：	本发明公开了一种在晶舟转换器上设立的保护装置，使得只有当两晶舟被放置在晶舟转换器上的正确位置上时，才可以进行晶圆转换操作，其在晶舟转换器上枢接两顶杆，该两顶杆可卡制该晶舟转换器的推杆移动，且该两顶杆分别与一顶杆钮枢接，又该顶杆钮是凸出设置于该晶舟转换器上，因此只有当两晶舟分别放置于该晶舟转换器上的正确位置上时，才会分别压触该两顶杆钮，而分别连动该两顶杆摆动，从而解除对该推杆的卡制，因此，才可利用该推杆进行晶圆转换作业，故其可避免因晶舟摆放位置的偏差所引起的晶圆破片、损坏与刮
专利类型：	发明专利
申请人：	资腾科技股份有限公司
发明人：	郑谢冠
专利状态：	有效
申请日期：	2006-08-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610111494.6
公开号：	CN101131952
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	章社杲
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹市
所属类别：	发明专利