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原文传递手动式晶圆拾放器

专利名称：	手动式晶圆拾放器
摘要：	本实用新型涉及一种晶圆拾放器。这种手动式晶圆拾放器，包括吸附膜、固定机构和操作机构，所述吸附膜是圆形的且具有弹性，所述固定机构架设于吸附膜背面的上方，所述操作机构设于吸附膜和固定机构之间，所述操作机构包括圆形板、拉杆和伸缩件，所述圆形板设于所述吸附膜的中部，所述拉杆的一端连接于所述圆形板的中部，另一端与所述伸缩件的一端连接，所述伸缩件的另一端连接于所述固定机构。通过使用该手动式晶圆拾放器可以避免手接触晶圆，从而减少手接触晶圆引发的污染和划伤晶圆现象产生，进而有效保护晶圆。而且，手动式晶圆拾放器的吸附膜可以直接利用CMP工艺中废弃的膜，因此，可以实现就地取材，有效降低了制造成本和难度。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人：	沙酉鹤
专利状态：	有效
申请日期：	2011-01-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201120031411.9
公开号：	CN201961836U
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	201203 上海市浦东新区上海市张江路18号
主权项：	一种手动式晶圆拾放器，其特征在于，包括吸附膜、固定机构和操作机构，所述吸附膜是圆形的且具有弹性，所述固定机构架设于所述吸附膜背面的上方，所述操作机构设于所述吸附膜和所述固定机构之间，所述操作机构包括圆形板、拉杆和伸缩件，所述圆形板设于所述吸附膜的中部，所述拉杆的一端连接于所述圆形板的中部，另一端与所述伸缩件的一端连接，所述伸缩件的另一端连接于所述固定机构。
所属类别：	实用新型