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原文传递一种晶舟操控装置

专利名称：	一种晶舟操控装置
摘要：	本实用新型公开的一种晶舟操控装置，通过夹紧晶舟顶盖来搬运晶舟，其包括操控盒及分别设置在该操控盒两侧的两机械手，所述两机械手均呈“ㄑ” 状，包括上部的主动杆、及与该主动杆固定连接的夹持杆，所述操控装置具有一预备状态和一夹紧状态；所述夹持杆的末端向该操控盒的方向伸出一支撑爪。支撑爪在夹紧状态时几乎呈水平方向设置，紧紧扣住晶舟顶盖，晶舟顶盖被卡在夹持杆与支撑爪的交接处，从而增加了晶舟操控装置的稳定性，即使有晃动，晶舟也不会轻易脱落。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人：	吴永强;陆一峰;顾佳玉;陈造卫
专利状态：	有效
申请日期：	2007-01-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200720066562.1
公开号：	CN201017867
代理机构：	上海智信专利代理有限公司
代理人：	王洁
分类号：	H01L21/687(2006.01)I
申请人地址：	201203上海市张江路18号
主权项：	1.一种晶舟操控装置，通过夹紧晶舟顶盖来搬运晶舟，其包括操控盒及分别设置在该操控盒两侧的两机械手，所述两机械手均呈“ㄑ”状，包括上部的主动杆、及与该主动杆固定连接的夹持杆，所述操控装置具有一预备状态和一夹紧状态；其特征在于：所述夹持杆的末端向该操控盒的方向还伸出一支撑爪。
所属类别：	实用新型