详情

原文传递一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法

专利名称：	一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法
摘要：	本发明公开了一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，具体包括以下步骤：S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；本发明涉及晶圆技术领域。该12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，将填充氮气功能集成于外抽式真空包装机上，整个包装流程通过一站式完成，确保空气被最大限度的排除，减少中间流转过程，使FOSB晶舟盒和包装袋内都是惰性气体氮气，这样可以确保晶圆产品的安全性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	徐州上达芯源半导体技术有限公司
发明人：	吴晨健;魏加杰;卢凤军;杨超
专利状态：	有效
申请日期：	2023-07-12T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202310849381.X
公开号：	CN117002796A
代理机构：	盐城汇聪知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	张焕响
分类号：	B65B31/06;B65B55/00;B65D81/26;B65B51/10;B;B65;B65B;B65D;B65B31;B65B55;B65D81;B65B51;B65B31/06;B65B55/00;B65D81/26;B65B51/10
申请人地址：	221000 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区华山路西侧、上达路北侧,江苏上达半导体有限公司一楼
主权项：	1.一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：具体包括以下步骤： S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除； S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除； S3、确认FOSB晶舟盒内氮气充填完毕后，关闭充气功能，将FOSB填充气体口与包装机上FOSB充氮气嘴分离，将FOSB晶舟盒与干燥剂一同放入包装袋，真空包装机开启包装功能； S4、包装袋口放入真空包装机密封条下，包住真空包装袋抽真空/充氮气气嘴，开启包装机自动包装模式，完成包装，包装机停止； S5、将FOSB晶舟盒从包装机工作平台上取下，放置于物架半小时，观察没有漏气，完成包装。 2.根据权利要求1所述的一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：所述S1中，填充氮气流量以8L/min充入32升FOSB晶舟盒内。 3.根据权利要求1所述的一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：所述S2中，如果抽气时湿度<3％，继续充氮气1min后，停止工作，若湿度>5％，说明晶舟盒内仍然残存空气，需继续充氮气2min，再抽气充气直至湿度<3％。 4.根据权利要求1所述的一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：所述S3中，干燥剂是硫酸钙和氯化钙中的任意一种。 5.根据权利要求1所述的一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：所述S4中，包装机自动包装模式开启后，反复充氮气和抽气模式3次，热封12S，然后冷却10S后完成包装。 6.根据权利要求1所述的一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：所述S5中，发现漏气情况，检查漏气原因，然后重新完成包装。
所属类别：	发明专利