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原文传递工作台装置以及涂敷处理装置

专利名称：	工作台装置以及涂敷处理装置
摘要：	本发明提供一种工作台装置，具有在上方进行基板的输送的工作台、以及、使基板在该工作台上上浮的上浮机构，工作台具有用来喷射使基板(G)上浮的气体的多个气体喷射口(16a)、以及、对从气体喷射口(16a)喷射的气体进行吸引的多个吸气口(16b)，多个气体喷射口(16a)和多个吸气口(16b)各自设置成，在沿着基板输送方向的既定距离内不沿着平行于基板输送方向的直线排列。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	山崎刚;境昌孝
专利状态：	有效
申请日期：	2006-02-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680005872.0
公开号：	CN101128918
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	温大鹏
分类号：	H01L21/027(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利