详情

原文传递一种转移硅片的设备及使用方法

专利名称：	一种转移硅片的设备及使用方法
摘要：	本装置主要用于硅片的转移。其特征在于，硅片升降装置以及与之相连接的硅片传输装置将硅片叠层以单片状态通过传输带转移出去，通过硅片存在感应器件感应硅片的存在并发出信号给硅片传输装置，来实现硅片的转移。并且通过在硅片转移出来之后的位置上设置气孔，通过气流在硅片下面形成一定的支撑力，防止硅片吸附在设备上，方便硅片下一步的转移。解决了手工转移硅片带来的不稳定性问题。本发明优点是能提高生产效率，降低碎片率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海交大泰阳绿色能源有限公司
发明人：	郭里辉
专利状态：	有效
申请日期：	2007-05-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710041178.0
公开号：	CN101312141
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	200240上海市闵行区剑川路951号沧源工业园内
所属类别：	发明专利