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原文传递基板分析用管嘴及基板分析方法

专利名称：	基板分析用管嘴及基板分析方法
摘要：	本发明提供一种基板分析用管嘴及基板分析方法，即便是亲水性较高的基板，仍可确实地防止分析液从管嘴漏出(脱落)，且能够以较高的回收率来回收扫描后的分析液。本发明涉及一种基板分析用管嘴，其从前端将分析液送出至基板上，且在以所送出的分析液来扫描基板表面之后抽吸分析液，该基板分析用管嘴由三重管所构成，该三重管由送出及抽吸分析液的配管、以包围要扫描的分析液的方式设置于配管的外周的第一外管、以及设置于第一外管的外周侧的第二外管所构成；该基板分析用管嘴具有：第一排气装置，其将配管与第一外管之间作为排气路径；以及第二排气装置，其将第一外管与第二外管之间作为排气路径。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	埃耶士株式会社
发明人：	川端克彦;李晟在
专利状态：	有效
申请日期：	2017-07-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201780004607.9
公开号：	CN109791097A
代理机构：	隆天知识产权代理有限公司
代理人：	向勇
分类号：	G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种基板分析用管嘴，其从前端将分析液送出至基板上，且在以所送出的分析液来扫描基板表面之后抽吸分析液，其中，所述基板分析用管嘴由三重管所构成，该三重管由送出及抽吸分析液的配管、以包围要扫描的分析液的方式设置于配管的外周的第一外管、以及设置于第一外管的外周侧的第二外管所构成；所述基板分析用管嘴具有：第一排气装置，其将配管与第一外管之间作为排气路径；以及第二排气装置，其将第一外管与第二外管之间作为排气路径。 2.一种基板分析方法，其是使用根据权利要求1所述的基板分析用管嘴来分析基板的方法，其中，从配管对基板送出分析液，且在一边通过第二排气装置进行排气，一边以所送出的分析液来扫描基板表面之后，停止第二排气装置且一边通过第一排气装置进行排气，一边将包含分析对象物的分析液抽吸至配管。
所属类别：	发明专利