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原文传递离子分析装置

专利名称：	离子分析装置
摘要：	离子分析装置包括：试样载置部(2)，其用于载置试样(1)；激发束照射部(3)，其从与载置于所述试样载置部(2)的试样(1)的表面垂直的方向对该试样(1)的表面照射激发束；偏转部(6)，其使自所述试样(1)产生的离子的至少一部分向自所述激发束的照射路径偏离的方向飞行；以及分析部(8)，其配置于被所述偏转部(6)偏转了的离子的飞行方向上，根据预定的物理量对该离子进行分离并进行测定。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社岛津制作所
发明人：	小寺庆;细井孝辅;志知秀治
专利状态：	有效
申请日期：	2016-11-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201680090714.3
公开号：	CN109923408A
代理机构：	北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘新宇;张会华
分类号：	G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	日本京都府
主权项：	1.一种离子分析装置，其特征在于，该离子分析装置包括： a)试样载置部，其用于载置试样； b)激发束照射部，其从与载置于所述试样载置部的试样的表面垂直的方向对该试样的表面照射激发束； c)偏转部，其使自所述试样产生的离子的至少一部分向自所述激发束的照射路径偏离的方向飞行；以及 d)分析部，其配置于被所述偏转部偏转了的离子的飞行方向上，根据预定的物理量对该离子进行分离并进行测定。 2.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，所述偏转部包括： e)电极，其配置于所述离子的飞行路径的内侧；以及 f)电压施加部，其对所述电极施加与所述离子极性相反的电压。 3.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，所述偏转部包括： g)电极，其配置于所述离子的飞行路径的外侧；以及 h)电压施加部，其对所述电极施加与所述离子极性相同的电压。 4.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，所述试样载置部、所述偏转部以及所述分析部配置于维持在预定的真空度的空间。 5.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，该离子分析装置还包括： i)移动机构，其使所述试样载置部移动。 6.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，该离子分析装置还包括： j)摄像部，其拍摄所述试样的表面。 7.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，所述激发束是激光。
所属类别：	发明专利