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原文传递 高效型单晶硅片的切割生产线
专利名称: 高效型单晶硅片的切割生产线
摘要: 本实用新型公开了高效型单晶硅片的切割生产线,它包括第一机架,第一机架上设置有电动滑轨、置物框和移动平台;移动平台上设置有第一液压缸、减震台、高速电机和转动轴,转动轴上安装有清洗液进管、制绒液进管和金刚石锯片;金刚石锯片上设置有金刚线、清洗液通道和制绒液通道;所述电动滑轨的一端设置有第二机架;第二机架上安装有第一传送装置、旋转装置、第二传送装置和清洗室;旋转装置上安装有第二液压缸和第三液压缸,第二液压缸和第三液压缸之间安装有梳齿框;第二传送装置的一端连接有自动转向收集装置。本实用新型不仅能够提高工作效率和切割的安全性,还具有制造成本较低、劳动强度低、自动化程度高和收集方便的优点。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 浙江贝盛新材料科技有限公司
发明人: 邱小永
专利状态: 有效
申请日期: 2018-07-26T00:00:00+0800
发布日期: 2019-06-28T00:00:00+0800
申请号: CN201821193023.9
公开号: CN209036737U
代理机构: 杭州新源专利事务所(普通合伙)
代理人: 李大刚
分类号: B28D5/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址: 313009 浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号
主权项: 1.高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:包括第一机架(1),第一机架(1)上设置有两条相互对称设置的电动滑轨(2),两条电动滑轨(2)之间在设置有多个均匀分布的置物框(3);电动滑轨(2)的一侧设置有移动平台(4),移动平台(4)上连接有第一液压缸(5);移动平台(4)的顶面上安装有减震台(6),减震台(6)上安装有高速电机(7);高速电机(7)上安装有转动轴(8),转动轴(8)上安装有清洗液进管(9),清洗液进管(9)的一侧设置有制绒液进管(10);转动轴(8)上安装有多个均匀分布的金刚石锯片(11),金刚石锯片(11)的边缘处设置有金刚线(12);金刚石锯片(11)的两侧面上均设有第一凹槽(13),每个第一凹槽(13)内均设置有多个相互连通的清洗液通道(14),每个第一凹槽(13)内还均设置有多个相互连通的制绒液通道(15);每个清洗液通道(14)均与清洗液进管(9)连接,每个制绒液通道(15)均与制绒液进管(10)连接;所述电动滑轨(2)的一端设置有倾斜设置的滑动通道(16),滑动通道(16)的一端连接有第二机架(17);第二机架(17)从上至下依次分为上层、中层和底层,中层上安装有第一传送装置(18);第一传送装置(18)的一端与电动滑轨(2)连接,另一端与滑动通道(16)连接;所述第二机架(17)的底层上设置有旋转装置(19),旋转装置(19)上安装有第二液压缸(20);第二液压缸(20)上连接有第二推杆(21),第二推杆(21)上安装有第二固定板(22);第二液压缸(20)的一侧设置有第三液压缸(23),第三液压缸(23)上连接有第三推杆(24);第三推杆(24)的一端安装有第三固定板(25),第三固定板(25)与第二固定板(22)之间安装有梳齿框(26);第二机架(17)的上层安装有第二传送装置(27),第二传送装置(27)上安装有清洗室(28);第二传送装置(27)的一端连接有自动转向收集装置(29)。 2.根据权利要求1所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述置物框(3)的两侧壁上设有多条均匀分布的切割槽(30),置物框(3)的底面上设有多条均匀分布的第一梳齿(31);所述梳齿框(26)上设有多条均匀分布的第二梳齿(32)。 3.根据权利要求1所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述第一传送装置(18)包括第一主动轴(33),第一主动轴(33)上连接有第一电机(34);第一主动轴(33)的一侧设置有第一从动轴(35),第一从动轴(35)与第一主动轴(33)之间设置有两条相互平行设置的第一滑轨(36);第一滑轨(36)一侧设置有第一红外检测装置(37);所述第二传送装置(27)包括第二主动轴(38),第二主动轴(38)上连接有第二电机(39);第二主动轴(38)的一侧设置有第二从动轴(40),第二从动轴(40)与第二主动轴(38)之间设置有两条相互平行设置的第二滑轨(41);所述电动滑轨(2)上对应移动平台(4)中部的位置处设置有第二红外检测装置(42)。 4.根据权利要求3所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述第二机架(17)的一侧面上安装有控制器(43),所述第二液压缸(20)、第三液压缸(23)、第一电机(34)、第一红外检测装置(37)、第二电机(39)和第二红外检测装置(42)均与控制器(43)电性连接。 5.根据权利要求1所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述清洗室(28)的顶面上设置有冷却水管(44),冷却水管(44)上安装有多个均匀分布的水洗头(45);冷却水管(44)的一侧设置有酸液管(46),酸液管(46)上设置有多个均匀分布的酸液喷头(47);所述冷却水管(44)上设置有第一调节阀(48),酸液管(46)上设置有第二调节阀(49);所述清洗室(28)的底面上设置有第一集液槽(50),第一集液槽(50)的侧面上设置有排液口。 6.根据权利要求1所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述旋转装置(19)包括旋转平台(52),旋转平台(52)的中部安装有转轴(53),转轴(53)的一端安装有伺服电机(54);所述第二液压缸(20)和第三液压缸(23)均设置在旋转平台(52)的上表面上。 7.根据权利要求1所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述自动转向收集装置(29)包括输送平台(55),输送平台(55)上安装有呈蜂窝状排列的转向框(56);每个转向框(56)内均安装有第三电机(57),每个第三电机(57)上均连接有第一转向轮(58);每个第三电机(57)的一侧均设置有第四电机(59),另一侧均设置有第五电机(60);每个第四电机(59)上均连接有第二转向轮(61);每个第五电机(60)上均连接有第三转向轮(62);输送平台(55)的一端均设置有送料通道(63),每个送料通道(63)的一端连接有集料框(64);集料框(64)内设置有基板(65),基板(65)与集料框(64)的底面之间设置有多个均匀分布的缓冲弹簧(66),每个缓冲弹簧(66)上均套接有伸缩管(67)。 8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述清洗液通道(14)和制绒液通道(15)相互交叉分布;所述转动轴(8)上安装有防护罩(68),转动轴(8)的下方设置由第二集液槽(69)。
所属类别: 实用新型
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