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原文传递缺陷检测装置及方法

专利名称：	缺陷检测装置及方法
摘要：	本发明提供一种缺陷检测装置及方法，在金相物镜切换到微分干涉相差成像物镜时，所述可动镜组进入入射光路，通过调节所述可动镜组的焦距，调节所述入射光路的焦距，进而调节微分干涉相差成像物镜的后焦面与金相物镜的后焦面轴向位置差异,从而改变了照明光路的光源成像位置，使得光源可成像到的微分干涉相差成像物镜的后焦面，实现微分干涉相差成像物镜时的柯勒照明，保证柯勒照明的照明均匀性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人：	王赛;杨晓青
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201711488774.3
公开号：	CN109991238A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	屈蘅;李时云
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201203 上海市浦东新区张东路1525号
主权项：	1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：载物模块，承载待测物；照明模块，提供入射光；物镜模块，所述物镜模块包括金相物镜和微分干涉相差成像物镜，所述入射光经过所述金相物镜或微分干涉相差成像物镜照射至所述待测物并反射回反射光；探测模块，所述待测物所反射的所述探测信号由所述探测模块接收；可动镜组，调节入射光路的焦距；反射光经过所述物镜照射至探测器；当所述物镜由所述金相物镜切换到所述微分干涉相差成像物镜时，所述可动镜组进入入射光路。 2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括物镜切换模块和分束器，所述照明模块包括光源、扩束镜以及滤波片切换模块；所述光源产生的入射光经过所述扩束镜扩束、准直后入射到所述滤波片切换模块，出射后入射到所述分束器，经物镜切换模块后经过所述物镜照射至所述待测物并反射回反射光，所述待测物所反射的所述探测信号由所述探测模块接收。 3.如权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，在所述滤波片切换模块和分束器之间包括有反射镜和中继镜组，所述滤波片出射后的光经所述反射镜反射，使光经过所述中继镜组入射到所述分束器；所述可动镜组位于所述反射镜和中继镜组之间并进入或离开所述入射光路。 4.如权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述可动镜组进入或离开所述入射光路方式为自动切换方式。 5.如权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述自动切换方式包括直线电机控制方式或旋转电机控制方式。 6.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述微分干涉相差成像物镜的后焦面与金相物镜的后焦面轴向有间距。 7.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述可动镜组调节入射光路焦距的调节范围满足Δl＝(M+1)*(f2-f1)，其中，Δl为微分干涉相差成像物镜的后焦面与金相物镜的后焦面轴向间距，M为放大倍率，f2为所述可动镜组距和中继镜组组合得到的焦距，f1为所述中继镜组的焦距。 8.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述可动镜组包括一个或一组镜片。 9.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述可动镜组包括球面镜或非球面镜。 10.一种缺陷检测方法，采用如权利要求1-9任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，包括：步骤S1：上载待测物到工件台；步骤S2：执行对准和调焦；步骤S3：判断是否选择执行微分干涉相差成像探测，若是，则选择可动镜组进入光路；步骤S4：执行缺陷检测；步骤S5：输出检测结果。 11.如权利要求10所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤S3中，通过物镜转轮选择微分干涉相差成像物镜；并选择起偏器和检偏器进入光路。 12.如权利要求10所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤S3中，如果选择执行金相成像探测，则选择可动镜组离开光路；通过物镜转轮选择金相物镜；并选择起偏器和检偏器离开光路。 13.如权利要求10所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤S5中，所述输出结果包括整个待测物上缺陷的数量、位置、尺寸及类型的信息。
所属类别：	发明专利