专利名称: |
一种晶棒旋转检测台 |
摘要: |
一种晶棒旋转检测台,包括检测台面,检测台面上设有滚动滚筒和检测装置,滚动滚筒包括第一滚筒和第二滚筒,第一滚筒与第二滚筒平行分布。检测台面底部通过旋转装置连接升降装置,升降装置底部设有万向轮。本实用新型的有益效果是:将晶棒放到检测台面上的两根滚动滚筒之间,方便晶棒滚动测量,减少晶棒在外观检测和长度检测的过程中的搬运周转,检测台面底部设有旋转装置,旋转装置可水平旋转检测台面,在晶棒端面的测量过程中,减少晶棒直立与晶棒翻转的搬运周转,从而减轻工作人员的劳动量,减少了工作人员在晶棒搬运过程中带来的身体扭伤风险,缩短了作业时间,降低了人工成本。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
内蒙古;15 |
申请人: |
内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
发明人: |
刘效斐 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-11-14T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-07-19T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821874734.2 |
公开号: |
CN209132169U |
代理机构: |
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
代理人: |
栾志超 |
分类号: |
G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号 |
主权项: |
1.一种晶棒旋转检测台,包括检测台面,其特征在于:所述检测台面上设有滚动滚筒和检测装置,所述滚动滚筒包括第一滚筒和第二滚筒,所述第一滚筒与所述第二滚筒平行分布,所述检测台面底部通过旋转装置连接升降装置,所述升降装置包括顶架和底架,所述顶架与所述底架均为方形框,所述顶架两条平行边一端部对应设有第一条形槽,所述顶架两条平行边另一端部对应设有第一连接孔,所述底架两条平行边一端部对应设有第二条形槽,所述底架两条平行边另一端部对应设有第二连接孔,所述连接架包括X机构,所述X机构包括两组平行对应分布的X形杆和中部连接杆,所述中部连接杆两端分别连接两组X形杆中部,所述两组X形杆顶部两端分别连接第一条形槽和第一连接孔,所述两组X形杆底部两端分别连接第二条形槽和第二连接孔,所述底架底部设有万向轮。 2.根据权利要求1所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述滚动滚筒包括滚筒轴和筒体,所述筒体置于所述滚筒轴外表面中心处,所述滚筒轴与所述筒体同轴心,所述滚筒轴两端长于所述筒体。 3.根据权利要求2所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述检测台面上设有连接板,所述连接板与所述检测台面垂直分布,所述连接板上设有连接孔,所述滚筒轴置于所述连接孔内,所述连接板分别置于所述滚动滚筒两端。 4.根据权利要求3所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述连接孔内设有轴承,所述滚筒轴置于所述轴承内。 5.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述X机构为多组,所述X机构之间通过两侧连接杆连接,所述两侧连接杆两端分别连接两组所述X形杆的顶部和所述X形杆的底部,所述两侧连接杆与所述中部连接杆平行分布,所述两侧连接杆中部设有螺纹孔,所述螺纹孔与丝杠配合连接,所述丝杠连接驱动机构。 6.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述顶架上设有顶板,所述顶板上表面设有第一凹槽,所述检测台面底部设有第二凹槽,所述旋转装置包括旋转轴,所述凹槽内设有轴承,所述旋转轴置于所述轴承内。 7.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述万向轮包括支架、滚轮、支架座和刹车装置,所述滚轮安装在所述支架上,所述支架安装在所述支架座上,所述支架座上设有刹车装置,所述支架座连接所述底架。 8.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述检测装置包括外观检测装置和/或长度测量仪。 9.根据权利要求5所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述驱动机构为动力电机。 10.根据权利要求6所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述检测台面为方形板。 |
所属类别: |
实用新型 |