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原文传递氧化铈传感器及其制备方法

专利名称：	氧化铈传感器及其制备方法
摘要：	本发明公开了一种氧化铈传感器及其制备方法，氧化铈传感器包括传感器基底和纳米气敏薄膜，传感器基底包括衬底和设置在衬底上的四个叉指电极组每个所述叉指电极组包括四个叉指电极；纳米气敏薄膜包括分别附着在所述四个叉指电极组表面的金‑氧化铈纳米气敏薄膜、银‑氧化铈纳米气敏薄膜、铂‑氧化铈纳米气敏薄膜和钯‑氧化铈纳米气敏薄膜；通过将贵金属掺杂到氧化铈材料中，可以得到在低温下具有高灵敏度的功能化材料，从而改善传统器件工作温度高的问题，基于多种氧化铈功能化材料构造气体传感器阵列，可以解决多种气体的交叉敏感问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	江门市阳邦智能科技有限公司
发明人：	杨爱军;马雄华;钟艳花
专利状态：	在审
申请日期：	2020-08-20T00:00:00+0800
发布日期：	2021-03-16T00:00:00+0800
申请号：	CN202010840827.9
公开号：	CN112505097A
分类号：	G01N27/00;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00
申请人地址：	529000 广东省江门市蓬江区潮连大道6号(江门职业技术学院内)的江门市大学生创业孵化基地1楼101室
所属类别：	发明专利