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原文传递 NF3中杂质分离分析方法

专利名称：	NF3中杂质分离分析方法
摘要：	本发明公开了一种NF3中杂质分离分析方法，采用具有双反吹或双切割系统的气相色谱，以高纯氦为载气，配置氦放电离子化检测器，包括在杂质从预柱流出后做反吹切阀放空主组分的步骤。本发明的NF3中杂质分离分析方法，分离杂质，分析时间短，分离效果显著。可以防止大量的NF3进检测器，有效的保护检测器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京高麦克仪器科技有限公司
发明人：	牛艳东;刘丽娜;何涛
专利状态：	在审
申请日期：	2020-11-05T00:00:00+0800
发布日期：	2021-03-12T00:00:00+0800
申请号：	CN202011225884.2
公开号：	CN112485348A
代理机构：	北京冠和权律师事务所
代理人：	田春龙
分类号：	G01N30/02;G01N30/64;G;G01;G01N;G01N30;G01N30/02;G01N30/64
申请人地址：	100000 北京市西城区德胜门外大街11号1幢333室(3层)
所属类别：	发明专利