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原文传递侦测物品表面缺陷的方法及其系统

专利名称：	侦测物品表面缺陷的方法及其系统
摘要：	本发明内容公开了一种侦测物品表面缺陷的方法及其系统，侦测物品表面缺陷的方法包含：提供物品；提供侦测物品表面缺陷的系统包含：激光发射模块、激光侦测模块、及分析模块，激光侦测模块电性连接激光发射模块，并且分析模块电性连接激光侦测模块；使用激光发射模块，发射激光至物品的表面；使用激光侦测模块，侦测激光照射至表面时的多个照射位置；使用分析模块，基于多个照射位置，分析表面的表面特征；基于表面特征，判定表面是否存在表面缺陷。本发明内容还提供了一种侦测物品表面缺陷的系统，相较于公知的自动光学检测系统或是人眼辨识，侦测解析度不会受到照明亮度或是拍摄角度的影响，具有更佳的解析度，可分辨更细微的表面缺陷。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	南亚科技股份有限公司
发明人：	刘逸文;周孙甫;胡欣成
专利状态：	有效
申请日期：	2020-11-18T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-29T00:00:00+0800
申请号：	CN202011307132.0
公开号：	CN114252393A
代理机构：	北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人：	浦彩华;姚开丽
分类号：	G01N21/01;G01N21/956;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/956
申请人地址：	中国台湾新北市泰山区南林路98号
主权项：	1.一种侦测物品表面缺陷的方法，其特征在于，包含：提供物品；提供侦测物品表面缺陷的系统，所述系统包含：激光发射模块；激光侦测模块，电性连接所述激光发射模块；以及分析模块，电性连接所述激光侦测模块；使用所述激光发射模块，发射激光至所述物品的表面；使用所述激光侦测模块，侦测所述激光照射至所述表面时的多个照射位置；使用所述分析模块，基于所述多个照射位置，分析所述表面的表面特征；以及基于所述表面特征，判定所述表面是否存在表面缺陷。 2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述物品包括晶圆、或晶圆处理设备中的元件。 3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面缺陷包括物理性损伤。 4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光发射单束光或扇形光。 5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，若将沿所述激光的发射点垂直于所述表面的方向所平行的坐标轴设定为X轴，并将与所述表面上的任一方向所平行的坐标轴设定为Y轴，则所述多个照射位置中任一个的信息包括X轴坐标与Y轴坐标。 6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，分析所述表面的所述表面特征步骤，包括呈现所述多个照射位置的多个Y轴坐标与对应所述多个Y轴坐标的多个X轴坐标。 7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，判定所述表面是否存在表面缺陷步骤，包括如果第一Y轴坐标以及与所述第一Y轴坐标相邻的第二Y轴坐标，所分别对应的第一X轴坐标以及第二X轴坐标的差值大于特定数值，则判定所述表面存在表面缺陷。 8.一种侦测物品表面缺陷的系统，其特征在于，包含：至少一个激光发射模块，用以发射激光至物品的表面；至少一个激光侦测模块，其中所述激光发射模块设置于所述激光侦测模块上，所述激光侦测模块用以侦测所述激光照射至所述表面时的多个照射位置；以及分析模块，电性连接所述激光侦测模块。 9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述系统还包含多个激光发射模块、多个激光侦测模块或其组合，其中所述多个激光发射模块设置于所述多个激光侦测模块的其中一个上，或是所述多个激光发射模块以一对一的方式分别设置于所述多个激光侦测模块上。 10.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述分析模块包含自动化判读元件，用以根据所述多个照射位置，判读所述物品是否存在表面缺陷。 11.如权利要求8所述的系统，其特征在于，还包含输送装置，所述输送装置承载所述激光发射模块以及所述激光侦测模块，以输送所述激光发射模块以及所述激光侦测模块至待测位置，并且所述激光侦测模块通过所述输送装置电性连接所述分析模块。
所属类别：	发明专利