专利名称: |
一种半导体材料水平和升降传输装置 |
摘要: |
本申请涉及一种半导体材料水平和升降传输装置,包括水平传输组件、竖直传输组件和限位组件。限位组件设置在竖直传输组件的中间部分,通过限位轨与第一限位轮和第二限位轮的作用,对竖直传输组件的中段起到固定作用,防止竖直传输组件晃动,提高半导体材料的安全性。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
江苏亚电科技有限公司 |
发明人: |
钱诚;李刚;全陈义 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2022-06-21T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2022-12-02T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202221561750.2 |
公开号: |
CN217946766U |
代理机构: |
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
陈平 |
分类号: |
B65G47/74;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/74 |
申请人地址: |
225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号 |
主权项: |
1.一种半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,包括: 水平传输组件(1); 竖直传输组件(2),能够在水平传输组件(1)上做水平位移; 限位组件(3),包括位于水平传输组件(1)上方的限位轨,以及设置在竖直传输组件(2)上的与限位轨配合的限位件(31),限位件(31)上安装有第一限位轮(32)和第二限位轮(33),第一限位轮(32)和第二限位轮(33)分别抵靠在限位轨的两侧以起到限位作用,防止竖直传输组件(2)在竖直方向上晃动; 容纳盒放置组件(4),设置在竖直传输组件(2)上,能够随水平传输组件(1)做水平运动,随竖直传输组件(2)做垂直运动。 2.根据权利要求1所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,所述竖直传输组件(2)的上方和下方分别设置有红外对射传感器。 3.根据权利要求2所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,两组红外对射传感器交叉对应设置。 4.根据权利要求1所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,所述容纳盒放置组件(4)包括: 基座(41),具有相对设置两面,其中一面设置有导轨、另一面设置有第二滑轨(411)和第一齿条(412); 滑块(42),受驱动件驱动而能够在基座(41)上运动,底部具有齿轮(422); 中间滑动块(43),朝向基座(41)的一面设置有第三滑轨和第二齿条、远离基座(41)的另一面设置有第四滑轨; 皮带传输带(44),设置在中间滑动块(43)另一侧,由皮带和皮带两端的皮带轮组成; 容纳盒盛放座(45),用于放置半导体材料盛放座; 所述滑块(42)位于中间滑动块(43)与基座(41)之间,且滑块(42)的两侧分别与第二滑轨(411)和第三滑轨配合,所述齿轮(422)同时与第一齿条(412)和第二齿条配合; 容纳盒盛放座(45)与皮带固定连接,且设置于第四滑轨上。 5.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,所述基座(41)通过滚珠丝杆传动副与滑块(42)连接。 6.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,容纳盒盛放座(45)上设置有三个定位销(451),在三个定位销(451)中心还设置有卡销(452),容纳盒盛放座(45)底部设置有旋转驱动件(453)用于驱动卡销(452)做90°转动。 7.根据权利要求6所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,三个定位销(451)成等腰三角形排布的。 8.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,基座(41)由四块基板围成,中间围成的区域中放置滚珠丝杆传动副。 9.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置,其特征在于,所述滑块(42)从所述基座(41)一侧通过连接块从所述基座(41)上方穿过延伸到基座(41)另一侧。 |