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一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔
| 专利名称： | 一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，公开了一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，包括笔杆、挤压装置、第一连接柱、吸取装置和卡固夹，卡固夹转动卡接在笔杆的上端，挤压装置对称分布设置在笔杆的中部，第一连接柱螺纹连接在笔杆的底端内部，吸取装置螺纹连接在第一连接柱的底端内部，第一连接柱的上端卡固连接有软管，且软管位于笔杆的内部。本实用新型在使用过程中通过挤压装置按压软管，然后使得吸附盘按压在晶圆上，撤去对挤压装置的压力，此时软管复原，从而可以利用吸附盘牢牢的将晶圆吸附拿取，然后再次的按压挤压装置使得吸附的晶圆取下，从而方便对晶圆的吸附拿取。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 深圳市凯望科技有限公司 |
| 发明人： | 郑子德 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2022-10-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2023-01-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN202222822999.0 |
| 公开号： | CN218200992U |
| 代理机构： | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 王攀 |
| 分类号： | B65G49/07;B65G49/06;B;B65;B65G;B65G49;B65G49/07;B65G49/06 |
| 申请人地址： | 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道东方社区东方一工业区66栋202 |
| 主权项： | 1.一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，包括笔杆(1)、挤压装置(2)、第一连接柱(3)、吸取装置(4)和卡固夹(5)，其特征在于：所述卡固夹(5)转动卡接在笔杆(1)的上端，所述挤压装置(2)对称分布设置在笔杆(1)的中部，所述第一连接柱(3)螺纹连接在笔杆(1)的底端内部，所述吸取装置(4)螺纹连接在第一连接柱(3)的底端内部，所述第一连接柱(3)的上端卡固连接有软管(6)，且所述软管(6)位于笔杆(1)的内部。 2.根据权利要求1所述的一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，其特征在于：所述吸取装置(4)包括第二连接柱(7)、连接管(8)和吸附盘(9)，所述连接管(8)固定连接在第二连接柱(7)的底端，所述吸附盘(9)固定连接在连接管(8)的底端。 3.根据权利要求2所述的一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，其特征在于：所述挤压装置(2)包括弧形挤压板(10)、复位弹簧(11)和按压板(12)，所述复位弹簧(11)均匀对称固定安装在按压板(12)的内端两侧，所述弧形挤压板(10)固定连接在按压板(12)的内端中部。 4.根据权利要求3所述的一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，其特征在于：所述按压板(12)的外端面通过螺栓固定安装有防滑片(13)。 5.根据权利要求4所述的一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，其特征在于：所述弧形挤压板(10)分布在所述软管(6)的外侧。 6.根据权利要求5所述的一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，其特征在于：所述按压板(12)滑动卡接在笔杆(1)上。 7.根据权利要求6所述的一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔，其特征在于：所述软管(6)通过第一连接柱(3)和第二连接柱(7)与连接管(8)连通，所述连接管(8)与吸附盘(9)的内部连通。 |
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