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有机电致发光元件制程的基板传送装置
| 专利名称： | 有机电致发光元件制程的基板传送装置 |
| 摘要： | 本设计揭示一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置，包括一设于制程机台前侧，具有缓冲效果的基板定位转换腔。本设计于传送过程中因保持真空或充满可保护基板的气体，可使基板免遭外界大气污染，且由于各模组的制程可独立操作、增加制程操作弹性，使各制程设备的厂房配置更具空间效益。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 申请人： | 铼宝科技股份有限公司 |
| 发明人： | 张毅;刘荣隆;杨志仁;郭志明;王智益;卢添荣 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2001-07-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN01228874.8 |
| 公开号： | CN2487193 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 汤保平 |
| 分类号： | H05B33/10 |
| 申请人地址： | 台湾省新竹县 |
| 主权项： | 权利要求书 1、一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置，其特征在于，该 装置主要包括： 一基板传动腔，该基板传动腔由一壳体形成一密闭空间，其内部可容 置基板，该壳体另一设有开口，而该开口具有一闸门； 至少一制程区，该制程区由一壳体形成一密闭空间，该壳体另设有一 开口，而该开口具有一闸门，该制程区内部尚包括一制程机台；及 一用以将该基板传动腔移至该制程机台的移动单元，该基板传动腔移 动开口对应于该制程机台开口位置； 一用以衔接该基板传动腔移动开口与该制程机台开口的衔接单元；及 一用以控制该基板传动腔密闭空间及/或该制程区密闭空间内部环境 的环境控制单元。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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