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原文传递半导体处理设备中的出入口结构

专利名称：	半导体处理设备中的出入口结构
摘要：	本实用新型提供一种向半导体处理设备中的出入口结构，确保搬运容器保持稳定的放置状态，具有：隔板，设置在上述设备的外部区域和内部区域之间，具有使上述被处理晶片通过的出入口；门，布置在上述隔板的出入口；放置部，设置在上述外部区域内靠近上述出入口，该放置部的放置使上述搬运容器的开口部与上述出入口相对置；按压部件，设置在上述放置部的上方，把上述搬运容器按压到上述放置部；以及驱动部，与上述按压部件驱动连接。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	竹内靖
专利状态：	有效
申请日期：	2003-04-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03243278.X
公开号：	CN2795158
代理机构：	永新专利商标代理有限公司
代理人：	黄剑锋
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1、一种半导体处理设备中的出入口结构，其特征在于，具有：隔板，设置在上述设备的外部区域和内部区域之间，具有使上述被处理晶片通过的出入口；门，布置在上述隔板的出入口；放置部，设置在上述外部区域内靠近上述出入口，该放置部的放置使上述搬运容器的开口部与上述出入口相对置；按压部件，设置在上述放置部的上方，把上述搬运容器按压到上述放置部；以及驱动部，与上述按压部件驱动连接。
所属类别：	实用新型