专利名称: | 光学检测缺陷后的路径规划方法 |
摘要: | 一种光学缺陷检测后的路径规划方法,包括下列步骤(1)提供一受检物; (2)将该受检物置于一光学检测机台上;(3)以该光学检测机台扫描该受检物; (4)在该受检物上检测出数个缺陷;(5)提供一数值运算模型,得到一条连接 该一个以上的缺陷位置的一路径。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 台湾;TW |
申请人: | 台达电子工业股份有限公司 |
发明人: | 陈诗涌;沈家麟 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-04-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200810094668.1 |
公开号: | CN101571493 |
代理机构: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 |
代理人: | 龙 洪;霍育栋 |
分类号: | G01N21/88(2006.01)I |
申请人地址: | 台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号 |
主权项: | 1.一种光学缺陷检测后的路径规划方法,包括下列步骤: (1)提供一受检物; (2)将所述受检物置于一光学检测机台上; (3)以所述光学检测机台扫描所述受检物; (4)在所述受检物上检测出一个以上的缺陷;以及 (5)提供一数值运算模型,得到一条连接所述一个以上的缺陷位置的一路 径。 |
所属类别: | 发明专利 |