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原文传递 光学检测缺陷后的路径规划方法
专利名称: 光学检测缺陷后的路径规划方法
摘要: 一种光学缺陷检测后的路径规划方法,包括下列步骤(1)提供一受检物; (2)将该受检物置于一光学检测机台上;(3)以该光学检测机台扫描该受检物; (4)在该受检物上检测出数个缺陷;(5)提供一数值运算模型,得到一条连接 该一个以上的缺陷位置的一路径。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 台湾;TW
申请人: 台达电子工业股份有限公司
发明人: 陈诗涌;沈家麟
专利状态: 有效
申请日期: 2008-04-29T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200810094668.1
公开号: CN101571493
代理机构: 北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人: 龙 洪;霍育栋
分类号: G01N21/88(2006.01)I
申请人地址: 台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号
主权项: 1.一种光学缺陷检测后的路径规划方法,包括下列步骤: (1)提供一受检物; (2)将所述受检物置于一光学检测机台上; (3)以所述光学检测机台扫描所述受检物; (4)在所述受检物上检测出一个以上的缺陷;以及 (5)提供一数值运算模型,得到一条连接所述一个以上的缺陷位置的一路 径。
所属类别: 发明专利
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