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原文传递 感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、形成有抗蚀图案的基板和电路基板的制造方法
专利名称: 感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、形成有抗蚀图案的基板和电路基板的制造方法
摘要: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、形成有抗蚀图案的基板和电路基板的制造方法。提供:发泡性被抑制、具有良好的灵敏度、分辨率、密合性、能缩短剥离时间、且能形成柔软性优异的抗蚀图案的感光性树脂组合物。含有:(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化剂,作为(B)具有烯属不饱和双键的化合物,包含通式(1)所示的化合物,(D)敏化剂包含选自吡唑啉化合物、蒽化合物、三芳基胺化合物和噁唑化合物中的至少1种。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 日本;JP
申请人: 旭化成株式会社
发明人: 内藤一也;小谷雄三
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810087046.X
公开号: CN108375874A
代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人: 刘新宇;李茂家
分类号: G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I;B32B27/08(2006.01)I;B32B27/36(2006.01)I;B32B27/32(2006.01)I;B32B33/00(2006.01)I;G;H;B;G03;H05;B32;G03F;H05K;B32B;G03F7;H05K3;B32B27;B32B33;G03F7/004;G03F7/027;H05K3/06;B32B27/08;B32B27/36;B32B27/32;B32B33/00
申请人地址: 日本东京都
主权项: 1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有以下的成分:(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)敏化剂,作为所述(B)具有烯属不饱和双键的化合物,包含下述通式(1)所示的化合物:式(1)中,A为C2H4或C3H6,‑(A‑O)n1‑和‑(A‑O)n3‑中,‑C2H4‑O‑和‑C3H6‑O‑的重复单元的排列任选为无规或嵌段,该排列为嵌段的情况下,任选‑C2H4‑O‑和‑C3H6‑O‑中的任一者为‑B‑O‑基侧,B为碳数4~8的2价烷基链,n1为0~10的整数,n3为0~10的整数,n1+n3为0~20的整数,而且,n2为12~42的整数,所述(D)敏化剂包含选自由吡唑啉化合物、蒽化合物、三芳基胺化合物和噁唑化合物组成的组中的至少1种。
所属类别: 发明专利
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