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原文传递一种微结构气体探测器的支撑结构及其制备方法

专利名称：	一种微结构气体探测器的支撑结构及其制备方法
摘要：	一种微结构气体探测器支撑结构及其制备方法，方法包括：S1，设置激光切割参数，参数包括切割间距、尺寸及图形；S2，根据参数对黏附在离型纸(2)上的热熔胶膜(1)进行激光切割，切割至完全切透热熔胶膜(1)但不切到离型纸(2)，形成带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列；S3，将带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列的热熔胶膜(1)一面与微结构气体探测器的读出阳极板(3)紧贴，使用平板热压从离型纸(2)一面施加压力热压，形成支撑结构；S4，将微结构气体探测器的不锈钢丝网(7)置于支撑结构上并热压，使得读出阳极板(3)与不锈钢丝网(7)实接。该方法加工精度及效率高，以热熔胶膜制备的支撑结构，增加了探测器稳定性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	中国科学技术大学
发明人：	丰建鑫;张志永;金梓安;周意;刘建北;邵明
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910436979.X
公开号：	CN110208460A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	周天宇
分类号：	G01N33/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
主权项：	1.一种微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，包括： S1，设置激光切割参数，所述参数包括切割间距、切割尺寸及切割图形； S2，根据所述参数对黏附在离型纸(2)上的热熔胶膜(1)进行激光切割，切割至完全切透所述热熔胶膜(1)但不切到所述离型纸(2)，形成带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列； S3，将所述带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列的热熔胶膜(1)一面与所述微结构气体探测器的读出阳极板(3)紧贴，使用平板热压从离型纸一面施加压力热压，形成所述支撑结构； S4，将所述微结构气体探测器的不锈钢丝网(7)置于所述支撑结构上并热压，使得所述读出阳极板(3)与所述不锈钢丝网(7)实接。 2.根据权利要求1所述的微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，在步骤S2中，所述切割间距不超过1cm*1cm。 3.根据权利要求1所述的微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，在步骤S2中，所述切割尺寸为直径不超过1mm。 4.根据权利要求1所述的微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，在步骤S1之前还包括： S0，将黏附在离型纸(2)上的热熔胶膜(1)压平。 5.根据权利要求1所述的微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，所述读出阳极板(3)与所述不锈钢丝网(7)实接间距为百微米级。 6.根据权利要求1所述的微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，在步骤S3中，使用胶带沿所述离型纸(2)边缘将所述带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列的热熔胶膜(1)一面与所述微结构气体探测器的读出阳极板(3)固定。 7.一种微结构气体探测器的支撑结构，其特征在于，所述支撑结构为热熔胶膜(1)构成的支撑垫片(5)阵列，每个支撑垫片(5)包括：第一胶层(101)、衬底层(102)及第二胶层(103)；所述衬底层(102)形成在所述第一胶层(101)与所述第二胶层(103)之间，所述第一胶层(101)渗透至所述微结构气体探测器的不锈钢丝网(7)的网孔内，所述第二胶层(103)浸润至所述微结构气体探测器的读出阳极板(3)。 8.根据权利要求7所述的微结构气体探测器的支撑结构，其特征在于，每个支撑垫片(5)的直径不超过1mm。 9.根据权利要求7所述的微结构气体探测器的支撑结构，其特征在于，所述读出阳极板(3)与所述不锈钢丝网(7)实接间距为百微米级。 10.根据权利要求7所述的微结构气体探测器的支撑结构，其特征在于，所述第一胶层(101)与所述第二胶层(103)在预设温度值以上释放黏性。
所属类别：	发明专利