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原文传递一种晶圆托举机构

专利名称：	一种晶圆托举机构
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆托举机构，包括承片台，所述承片台通过下方的安装基座连接在探针台上；所述承片台的上表面的中心处均布有四个滑孔，所述安装基座通过连接块与晶圆顶片机构连接。本实用新型结构紧凑、占用空间小，晶圆转运及取放过程稳定，有效的防止了待测晶圆上表面特征和墨点对吸取晶圆的影响，避免了造成待测晶圆的损伤。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	秦皇岛视听机械研究所有限公司
发明人：	刘红军;杨刚;单宏;刘宵婵;郑金宝;孟宪圆;高今朝
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201920003162.9
公开号：	CN209383334U
代理机构：	北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	李兴林
分类号：	B66F11/00(2006.01);B;B66;B66F;B66F11
申请人地址：	066000 河北省秦皇岛市海港区河北大街中段165号
主权项：	1.一种晶圆托举机构，包括承片台(1)，所述承片台(1)通过下方的安装基座(5)连接在探针台上；其特征在于：所述承片台(1)上表面的中心处均布有四个滑孔(2)，所述安装基座(5)通过连接块(4)与晶圆顶片机构(3)连接；所述晶圆顶片机构(3)包括架体(301)和升降臂(302)，所述架体(301)的上端安装在所述安装基座(5)上，所述升降臂(302)位于所述承片台(1)的下方，所述升降臂(302)的一端设置有托盘(303)，另一端贯穿所述架体(301)与升降座(305)连接，所述升降座(305)的下方设置有推杆电机(307)，所述推杆电机(307)的工作端与所述升降座(305)连接，并且所述推杆电机(307)安装在所述架体(301)的底板上；所述托盘(303)上均布有四个竖直的顶片柱(304)，各所述顶片柱(304)的上端延伸至所述滑孔(2)中。 2.根据权利要求1所述的晶圆托举机构，其特征在于：所述升降臂(302)在背离所述托盘(303)的一端连接有传感器挡片(306)，所述架体(301)的侧壁上设置有两个限位传感器(308)，所述推杆电机(307)带动所述传感器挡片(306)上升或下降分别与所述限位传感器(308)配合，所述推杆电机(307)在两个所述限位传感器(308)之间通过程序控制往复运动，实现晶圆与所述承片台(1)的接触或分离。 3.根据权利要求1所述的晶圆托举机构，其特征在于：所述顶片柱(304)的上端设置有橡胶垫。
所属类别：	实用新型