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原文传递基板分割装置

专利名称：	基板分割装置
摘要：	本发明提供一种具有能够应对各种各样的基板而进行分割的倾动工作台的基板分割装置。该基板分割装置具有固定工作台(1)和倾动工作台(2)，所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板(W)的基板保持面(1a、2a)，并且以这些基板保持面(1a、2a)形成同一水平面的方式空出间隔而邻接，倾动工作台(2)具有：倾动机构，其将所述倾动工作台的与固定工作台(1)邻接的一端部形成的旋转轴(3)作为支点而使倾动工作台(2)倾动；水平移动机构，其以在水平方向上与固定工作台(1)背离的方式使倾动工作台(2)移动；以及升降机构，其使倾动工作台(2)升降。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	三星钻石工业株式会社
发明人：	酒井敏行;成尾徹
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201910323633.9
公开号：	CN110466075A
代理机构：	北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	袁波;刘继富
分类号：	B28D1/22(2006.01);B;B28;B28D;B28D1
申请人地址：	日本大阪府
主权项：	1.一种基板分割装置，其沿着在由脆性材料构成的基板的表面形成的刻划线对所述基板进行分割，其中，所述基板分割装置具有固定工作台和倾动工作台，所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板的基板保持面，并且以这些基板保持面形成同一水平面的方式空出间隔而邻接，所述倾动工作台具有：倾动机构，其将所述倾动工作台的与所述固定工作台邻接的一端部形成的旋转轴作为支点而使该倾动工作台倾动；水平移动机构，其以在水平方向上与所述固定工作台背离的方式使所述倾动工作台移动；以及升降机构，其使所述倾动工作台升降。 2.根据权利要求1所述的基板分割装置，其中，所述倾动机构具有：支承臂，其通过所述旋转轴可旋转地支承所述倾动工作台；以及液压缸，其与所述倾动工作台的另一端部下表面连接，并以所述旋转轴为支点而使所述倾动工作台上下摆动。 3.根据权利要求2所述的基板分割装置，其中，所述水平移动机构具有：行驶构件，其对所述支承臂和所述液压缸进行保持；以及台板，其通过第一导轨而在水平方向上可移动地保持所述行驶构件，所述第一导轨向所述倾动工作台背离所述固定工作台的方向延伸而形成，所述行驶构件以通过驱动机构而行驶的方式形成。 4.根据权利要求3所述的基板分割装置，其中，所述升降机构具有：支柱，其可升降地保持所述台板；滑轮，其设置在所述台板的下表面；滑动构件，其具有承接该滑轮的倾斜承接面；以及底座，其通过第二导轨而在水平方向上可滑动地保持所述滑动构件，所述第二导轨向所述倾动工作台背离所述固定工作台的方向延伸而形成，所述倾斜承接面的倾斜方向沿着所述第二导轨的方向而形成，所述滑动构件以通过驱动机构而滑动的方式形成。
所属类别：	发明专利