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一种晶圆激光超声场的数字全息检测系统及其方法
| 专利名称： | 一种晶圆激光超声场的数字全息检测系统及其方法 |
| 摘要： | 本发明公布一种晶圆激光超声场的数字全息检测系统及其方法，该系统由纳秒脉冲激发光源、纳秒脉冲探测光源、入射光学单元、收集光路单元、显微物镜、光电探测器、延时单元、电机控制器、精密移动台、计算机、光纤、晶圆组成。采用纳秒脉冲激光激发超声场，并通过不同时间长度延迟的数字全息方法进行检测整个晶圆光致超声场的传播过程，可获得高空间分辨率的晶圆表面和内部缺陷的快速检测成像，实现高分辨率、在线、快速、非接触的大视场面积晶圆检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江西;36 |
| 申请人： | 南昌洋深电子科技有限公司 |
| 发明人： | 曾吕明;纪轩荣;邓丽军;姚清凯;周阳 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-11-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201911079454.1 |
| 公开号： | CN110568080A |
| 代理机构： | 南昌大牛专利代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 喻莎 |
| 分类号： | G01N29/11(2006.01);G;G01;G01N;G01N29 |
| 申请人地址： | 330046 江西省南昌市青山湖区高新技术产业开发区紫阳大道1216号新力方大厦综合楼-3317室 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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