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基板运载装置及具有该装置的基板处理装置
| 专利名称： | 基板运载装置及具有该装置的基板处理装置 |
| 摘要： | 本发明是有关于一种基板运载装置及具有该装置的基板处理装置。该 基板运载装置，即使高温状态的基板也可顺利地对其进行搬运，缩短生产 工程整体的生产时间(tact time)。在基板处理装置的卸载室中，设置有用 于将托盘上所载置的基板夹紧并向回收托盘进行运载的夹盘部、驱动夹盘 部的水平驱动机构。而且，在卸载室中设置有升降板，当夹盘部欲夹紧基 板时，使基板从托盘上垂直移动并促成基板的夹紧，以及设置有驱动升降 板的升降机构。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社岛津制作所 |
| 发明人： | 北原大 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-05-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510070986.0 |
| 公开号： | CN1702023 |
| 代理机构： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 寿 宁;张华辉 |
| 分类号： | B65G49/05 |
| 申请人地址： | 日本京都府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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