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原文传递基板传送方法及其装置

专利名称：	基板传送方法及其装置
摘要：	本发明提供一种基板传送方法，在传送基板时即便是小型基板也不会落下，且传送装置的成本不会增加。另外，对基板的清洗及干燥效果不会变差，装置维护性得以提升，并且对基板进行清洗时，即使提高清洗水压、气压也不会导致基板曲折行进或落下等。在基板(A)的传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊(20)，在各支撑辊(20)与相邻支撑辊(20)之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带(21)，并在由传送路径上下的传送圆皮带(21)、(21)夹持基板A的状态下使支撑辊 (20)旋转，从
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社高鸟
发明人：	妙见治彦;小西善久;堀口茂春
专利状态：	有效
申请日期：	2006-12-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610170010.5
公开号：	CN1996116
代理机构：	北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人：	寿宁;张华辉
分类号：	G02F1/1333(2006.01)I
申请人地址：	日本奈良县橿原市新堂町313番地之1
所属类别：	发明专利