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原文传递基板处理装置以及基板操控方法

专利名称：	基板处理装置以及基板操控方法
摘要：	本发明涉及一种基板处理装置以及基板操控方法，该基板处理装置包括：搬运器保持部，其用于保持容纳基板的搬运器；基板保持机构，其在对基板实施规定的处理时保持基板；基板搬送机构，其在由所述搬运器保持部所保持的搬运器和所述基板保持机构之间搬送基板。所述基板保持机构，具有在保持基板时与该基板接触的第一基板接触构件，而在该第一基板接触构件的至少基板接触部包括导电性部，该导电性部接地。所述基板搬送机构，具有在搬送基板时与该基板接触的第二基板接触构件，而在该第二基板接触构件的至少基板接触部包括有
专利类型：	发明专利
申请人：	大日本网目版制造株式会社
发明人：	高桥弘明
专利状态：	有效
申请日期：	2007-02-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710085041.5
公开号：	CN101030528
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：	王玉双
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	日本京都府京都市
所属类别：	发明专利