详情

原文传递一种用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片及其应用和三氟化氮的检测方法

专利名称：	一种用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片及其应用和三氟化氮的检测方法
摘要：	本发明公开了一种用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片及其应用和三氟化氮的检测方法。所述滤光片由表面镀有氟化钡的硅片和蓝宝石滤光片组成，适用于非色散红外检测仪，用于检测在波长10～12μm范围内具有明显特征吸收峰的气体。本发明通过两种特定滤光片的组合，得到一种窄带通（NBP）滤波片，其透过波长为10～12μm的红外光，且透过率大于85%，而其他波段的光则无法透过，特使适用于非色散红外检测仪，用于简单、快速、实时在线检测在三氟化氮等在10～12μm波长范围内具有特征吸收峰的物质。所述检测方法无需高温加热，不用催化剂，不涉及挥发性有机物催化转化效率问题；分析方法直观快捷，准确度高，成本低，便利性高、适用性广。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心)
发明人：	尹强;苏启源;毛沅文;周阳;林景辉;贾相锐
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201910037343.8
公开号：	CN109870408A
代理机构：	广州粤高专利商标代理有限公司
代理人：	任重
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	510080 广东省广州市白云区广园中路松柏东街30号
主权项：	1.一种用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片由表面镀有氟化钡的硅片和蓝宝石滤光片组成。 2.根据权利要求1所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述表面镀有氟化钡的硅片中氟化钡的厚度为0.4～1.0 mm；所述蓝宝石滤光片的厚度为0.4～0.6mm。 3.根据权利要求2所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述表面镀有氟化钡的硅片中氟化钡的厚度为1.0 mm；所述蓝宝石滤光片的厚度为0.6 mm。 4.根据权利要求1所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片透射波长范围为10～12 μm。 5.根据权利要求4所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片对波长为11 μm的红外光的透过率最强。 6.根据权利要求5所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片对波长为11 μm红外光的透过率为85%～100%。 7.权利要求1～6任一所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片的应用，其特征在于，所述滤光片可用于非色散红外仪检测三氟化氮。 8.一种利用非色散红外仪检测三氟化氮的方法，其特征在于，采用权利要求1～6任一所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片。 9.根据权利要求8所述利用非色散红外仪检测三氟化氮的方法，其特征在于，以MEMS辐射源为辐射光源，光源以Si3N4为材料，覆盖波长范围2～14 μm，对外辐射功率＞500 mW。 10.根据权利要求8所述的非色散红外仪检测三氟化氮的方法，其特征在于，红外探测测试器采用非制冷型的钽酸锂晶体为材料的热释电探测器；典型响应率为3.5 KV/W，响应典型温度系数为-0.1%/K 。
所属类别：	发明专利