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原文传递一种晶圆裂纹检查装置

专利名称：	一种晶圆裂纹检查装置
摘要：	本发明公开了一种晶圆裂纹检查装置，包括底座和设于底座上方的滑板，所述滑板与所述底座滑动连接，使所述滑板能相对底座进行滑动，所述滑板上开设有与滑动方向一致的槽口，所述滑板上方设有回转环，所述回转环与所述滑板转动连接，使所述回转环能相对滑板进行回转，所述底座上连有球头杆，所述球头杆向上穿过槽口，且所述球头杆顶部高于回转环顶面，还包括设于底座上的显微镜，所述显微镜的物镜中心与球头杆中心重合。本发明中的检查装置能够实现使用低倍显微镜的情况下快速检查出晶圆裂纹，从而提高晶圆整体外观检查效率和检查深度。
专利类型：	发明专利
申请人：	成都先进功率半导体股份有限公司
发明人：	刘剑;侯华
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T14:00:00+0805
申请号：	CN201911356827.5
公开号：	CN111007080A
代理机构：	四川力久律师事务所
代理人：	张立刚
分类号：	G01N21/95;G01N21/01;H01L21/67;G;H;G01;H01;G01N;H01L;G01N21;H01L21;G01N21/95;G01N21/01;H01L21/67
申请人地址：	611731 四川省成都市高新西区科新路8-88号
主权项：	1.一种晶圆裂纹检查装置，其特征在于，包括底座和设于底座上方的滑板，所述滑板与所述底座滑动连接，使所述滑板能相对底座进行滑动，所述滑板上开设有与滑动方向一致的槽口，所述滑板上方设有回转环，所述回转环与所述滑板转动连接，使所述回转环能相对滑板进行回转，所述底座上连有球头杆，所述球头杆向上穿过槽口，且所述球头杆顶部高于回转环顶面，还包括设于底座上的显微镜，所述显微镜的物镜中心与球头杆中心重合。 2.根据权利要求1所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述底座上设有与球头杆相连的顶升机构，所述顶升机构用于升降球头杆高度。 3.根据权利要求2所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述顶升机构包括与底座相连的L型支架，所述L型支架上铰接有支撑杆，所述球头杆设于支撑杆一端，所述支撑杆另一端设有调节杆，所述调节杆用于调节支撑杆端部与L型支架的相对距离。 4.根据权利要求1-3之一所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述底座上设有两条平行的导轨，所述滑板上对应设有与导轨适配的滑块。 5.根据权利要求4所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述滑板上设有至少三个U槽轴承，所有的U槽轴承沿回转环周向均布，且所述回转环外侧面与所述U槽轴承相配合。 6.根据权利要求1-3之一所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述回转环顶面设有两个定位柱。 7.根据权利要求6所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述回转环顶面镶嵌有若干个磁钉。 8.根据权利要求7所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述回转环顶面上设有若干个凹槽。 9.根据权利要求1-3之一所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述底座上设有两个限位块，所述限位块用于限定滑板行程。 10.根据权利要求9所述的晶圆裂纹检查装置，其特征在于，所述滑板上设有锁定支架，在锁定支架上设有与底座相连的锁紧螺钉。
所属类别：	发明专利