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原文传递一种用于半导体器件加工的处理装置

专利名称：	一种用于半导体器件加工的处理装置
摘要：	本发明提供了一种用于半导体器件加工的处理装置，涉及半导体器件加工技术领域，包括壳体，所述壳体的前端设置有箱门，箱门与壳体之间设置有密封垫，在壳体的一侧设置有真空泵，真空泵用于抽取壳体内部中空，在壳体的内部还固定连接有台板，台板的内部开设有两处横向槽，在两处横向槽的内侧均设置有电动推杆，在两处横向槽的内部还设置有支架，解决了现有的无法在稳定环境下模拟高温状态下的工作环境来观察半导体的工作情况，进而存在着局限性的问题，通过底座内部所呈直线阵列设置的气管进行出气，而气管为半开放结构，使得放置在底座上方的半导体器件下方的流速变大压强变小，进而达到利用气压将半导体器件压覆在底座之上进行放置的目的。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	郯城泽华基础工程有限公司
发明人：	刘泽华
专利状态：	有效
申请日期：	2021-12-15T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-25T00:00:00+0800
申请号：	CN202111538770.8
公开号：	CN114235834A
代理机构：	山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	佘莉芳
分类号：	G01N21/95;H01L21/68;H01L21/683;G;H;G01;H01;G01N;H01L;G01N21;H01L21;G01N21/95;H01L21/68;H01L21/683
申请人地址：	276100 山东省临沂市郯城县沙墩镇陈埠村一组77号
主权项：	1.一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于，包括：壳体(1)，所述壳体(1)的前端设置有箱门，箱门与壳体(1)之间设置有密封垫，在壳体(1)的一侧设置有真空泵(2)，真空泵(2)用于抽取壳体(1)内部中空，在壳体(1)的内部还固定连接有台板(3)，台板(3)的内部开设有两处横向槽，在两处横向槽的内侧均设置有电动推杆(4)，在两处横向槽的内部还设置有支架(5)，电动推杆(4)用于调节支架(5)在横向槽内部的位置。 2.如权利要求1所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述支架(5)的横向构件的底侧还设置有加热管(6)，加热管(6)为电加热结构，加热管(6)共设有两处，且两处加热管(6)分别位于支架(5)中横向构件底端的左右两侧位置，在支架(5)中横向构件的底侧还设置有检测警示器(7)，检测警示器(7)用于扫描检测半导体器件，检测警示器(7)位于两处加热管(6)的内侧位置。 3.如权利要求1所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述台板(3)的顶端面固定连接有座体(8)，座体(8)共设有两处，且两处座体(8)分别位于台板(3)顶端面的前后两侧位置，在位于后侧的座体(8)的一侧还设置有电机(9)，电机(9)的前端设置有传动轴，传动轴穿过位于前侧的座体(8)，并凸出座体(8)。 4.如权利要求3所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述电机(9)前侧所设置的传动轴的外侧还套接有转盘(10)，转盘(10)共设有两处，且两处转盘(10)分别位于两处座体(8)的外侧，在两处转盘(10)的一侧还铰接有连杆(11)，连杆(11)的另一端与底座(12)相铰接，底座(12)为镂空结构，且底座(12)为铜制结构。 5.如权利要求4所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述底座(12)的内部前后两侧均为倾斜面结构，其中底座(12)的前侧还设置有风机(13)，在底座(12)的内部呈直线阵列设置有气管(14)，气管(14)为半开放结构，风机(13)通过气管(14)出风。 6.如权利要求5所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述底座(12)前后两侧面所设置的倾斜面上还呈直线阵列设置有导向轮(15)，在底座(12)的底端面固定连接有连接板(17)，连接板(17)共设有两处，且两处连接板(17)分别固定连接在底座(12)底端面的前后两侧位置，在台板(3)的顶端面上还固定连接有固定座(16)，固定座(16)与连接板(17)相铰接。 7.如权利要求6所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述台板(3)的顶端面上固定连接有安装座(18)，安装座(18)共设有两处，另一处安装座(18)安装在底座(12)的底端面，在两处安装座(18)的内侧还铰接有牵引杆(19)，牵引杆(19)为弹性结构，在底座(12)的左右两侧均固定连接有滑板(20)，在台板(3)的内部还安装有下料箱(21)，下料箱(21)与滑板(20)相匹配，在下料箱(21)的左侧顶端安装有计数器(25)，在下料箱(21)的前端面下侧还安装有报警器(28)。 8.如权利要求7所述一种用于半导体器件加工的处理装置，其特征在于：所述下料箱(21)的左侧转动连接有拨杆(22)，拨杆(22)的一侧还铰接有推柱(23)，在下料箱(21)的一侧固定连接有导向板(24)，推柱(23)插接在导向板(24)内，当推柱(23)与计数器(25)接触时，计数器(25)完成单次计数，在下料箱(21)的内部还滑动连接有底板(26)，在底板(26)的底侧转动连接有弹簧，在弹簧的底侧还安装有调节杆(29)，在底板(26)的前端面中心位置固定连接有联通杆(27)，联通杆(27)用于触发报警器(28)。
所属类别：	发明专利