主权项: |
1.一种附有标准机械介面之晶圆运送装置,其特征在于它包括:
放置台升降机构,该机构包括一个放置台(10),该放置台(10)设有
一个具有一个开启装置的固定台座(11),该放置台(10)的一侧连结于一
个线性滑轨(13a)上的一个滑块(14a)上,该滑块(14a)与一驱动源(15)相
连接并由其驱动;该机构还包括一个外护罩(16),在该外护罩内具有
一个匚型可动护罩(17),该可动护罩(17)连结于放置台(10)的周侧;
夹爪垂直升降机构,该机构包括一个与夹爪(21)相连结的升降支
架(25),该升降支架(25)与一个在一个线性滑轨(23)内的滑块(24)相连
结,该滑块(24)与一驱动源(22)相连结并由其驱动;
夹爪水平移动机构,该机构包括一个装设于上述升降支架(25)上
的线性滑轨(26),该线性滑轨(26)上的滑块(27)连结一个下支架(28),该
下支架上另设有一个皮带轮组,该皮带轮组的皮带(29)的一端利用一
夹紧块(32)固定在该线性滑轨(26)上,该皮带(29)的另一端利用另一个
夹紧块(33)与一个上支架(34)相连结,该上支架由在该下支架(28)上设
置的另一个线性滑轨(35)来支撑,该滑块(27)与一驱动源(36)相连结并
由其驱动;
夹爪摆动机构,该机构设置在上述上支架(34)上,它包括设置在
该上支架(34)一侧上的一个驱动源(38),该驱动源(38)连动于设置在该
上支架(34)另一侧上的蜗杆-蜗轮机构(41,42),其蜗轮(42)则以一个传
动轴(43)连结于夹爪(21)。 |