专利名称: |
硅片的快速检测方法 |
摘要: |
本发明公开了一种硅片的快速检测方法,由两个数字式相机分别摄
取两片硅片的图像,并经分析、比较、计算得到缺陷覆盖面积。本发明
检测方便、可进行实时检测,误判少,速度快。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
周乔治 |
发明人: |
周乔治 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2009-06-18T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200910032482.8 |
公开号: |
CN101587078 |
代理机构: |
南通市永通专利事务所 |
代理人: |
葛 雷 |
分类号: |
G01N21/88(2006.01)I |
申请人地址: |
226000江苏省南通市崇川区都市华城9号楼604室陈德云转 |
主权项: |
1、一种硅片的快速检测方法,其特征是:包括下列步骤:
(1)由两个数字式相机分别摄取两片硅片的图像,两个相机摄取
的图像分别为f0(x,y)和g0(x,y);
(2)通过图像中心计算模块分别计算f0(x,y)和g0(x,y)的图像中心
(fxc,fyc)和(gxc,gyc);
(3)通过位移计算模块计算f0(x,y)相对于g0(x,y)的位移;
(4)通过对准图心模块,将f0(x,y)与g0(x,y)的图像中心对准产生
与g0(x,y)有一致坐标系统的新图像f(x,y)、g(x,y),其中g(x,y)=g0(x,y);
(5)通过寻找本地非正常像元模块对每一组(x,y)分别在f(x,y)
和g(x,y)上寻找本地非正常像元,得到本地非正常图像fa(x,y)和ga(x,y);
(6)通过计算和去除f(x,y)、g(x,y)的模块,计算并去除f(x,y)和
g(x,y)的直流分量,得到图像fd(x,y)和gd(x,y);
(7)用中值滤波模块分别去除fd(x,y)和gd(x,y)的椒盐噪声,得到
图像fm(x,y)和gm(x,y);
(8)通过差值图像计算模块得到出差值图像d(x,y);
(9)通过预处理模块去除由各种因素造成的fm(x,y)和gm(x,y)的差
异;
(10)通过计算缺陷图像模块,得到缺陷图像f0(x,y)和g0(x,y);
(11)通过缺陷覆盖面积计算模块,得到缺陷覆盖面积。 |
所属类别: |
发明专利 |