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原文传递硅片的快速检测方法

专利名称：	硅片的快速检测方法
摘要：	本发明公开了一种硅片的快速检测方法，由两个数字式相机分别摄取两片硅片的图像，并经分析、比较、计算得到缺陷覆盖面积。本发明检测方便、可进行实时检测，误判少，速度快。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	周乔治
发明人：	周乔治
专利状态：	有效
申请日期：	2009-06-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200910032482.8
公开号：	CN101587078
代理机构：	南通市永通专利事务所
代理人：	葛雷
分类号：	G01N21/88(2006.01)I
申请人地址：	226000江苏省南通市崇川区都市华城9号楼604室陈德云转
主权项：	1、一种硅片的快速检测方法，其特征是：包括下列步骤： (1)由两个数字式相机分别摄取两片硅片的图像，两个相机摄取的图像分别为f0(x，y)和g0(x，y)； (2)通过图像中心计算模块分别计算f0(x，y)和g0(x，y)的图像中心 (fxc，fyc)和(gxc，gyc)； (3)通过位移计算模块计算f0(x，y)相对于g0(x，y)的位移； (4)通过对准图心模块，将f0(x，y)与g0(x，y)的图像中心对准产生与g0(x，y)有一致坐标系统的新图像f(x，y)、g(x，y)，其中g(x，y)＝g0(x，y)； (5)通过寻找本地非正常像元模块对每一组(x，y)分别在f(x，y) 和g(x，y)上寻找本地非正常像元，得到本地非正常图像fa(x，y)和ga(x，y)； (6)通过计算和去除f(x，y)、g(x，y)的模块，计算并去除f(x，y)和 g(x，y)的直流分量，得到图像fd(x，y)和gd(x，y)； (7)用中值滤波模块分别去除fd(x，y)和gd(x，y)的椒盐噪声，得到图像fm(x，y)和gm(x，y)； (8)通过差值图像计算模块得到出差值图像d(x，y)； (9)通过预处理模块去除由各种因素造成的fm(x，y)和gm(x，y)的差异； (10)通过计算缺陷图像模块，得到缺陷图像f0(x，y)和g0(x，y)； (11)通过缺陷覆盖面积计算模块，得到缺陷覆盖面积。
所属类别：	发明专利