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清洁度评价方法、清洗条件决定方法、和硅晶圆的制造方法
| 专利名称： | 清洁度评价方法、清洗条件决定方法、和硅晶圆的制造方法 |
| 摘要： | 提供具有碳化硅表面的部件的清洁度评价方法，其包括：使前述碳化硅表面与氢氟酸、盐酸和硝酸的混酸接触；通过加热浓缩与前述碳化硅表面接触的混酸；将通过前述浓缩而得到的浓缩液稀释从而得到试样溶液，将所得试样溶液供于利用电感耦合等离子体质谱仪的金属成分的定量分析；和，基于通过前述定量分析而得到的金属成分定量结果，评价前述具有碳化硅表面的部件的清洁度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 胜高股份有限公司 |
| 发明人： | 村松崇志;加藤宏和 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201780016301.5 |
| 公开号： | CN109313162A |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
| 代理人： | 郭煜;鲁炜 |
| 分类号： | G01N27/62(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 1.具有碳化硅表面的部件的清洁度评价方法，其包括：使所述碳化硅表面与氢氟酸、盐酸和硝酸的混酸接触；通过加热浓缩与所述碳化硅表面接触的混酸；将通过所述浓缩而得到的浓缩液稀释从而得到试样溶液，将所得试样溶液供于利用电感耦合等离子体质谱仪的金属成分的定量分析；和基于通过所述定量分析而得到的金属成分定量结果，评价所述具有碳化硅表面的部件的清洁度。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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