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原文传递一种晶圆放置盘中到位检测装置

专利名称：	一种晶圆放置盘中到位检测装置
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆放置盘中到位检测装置，包括：视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。本实用新型通过高像素高精度视觉设备精准检测碳化硅盘中圆形槽位外围的黑白对比度，来判断晶圆有无完全到位，可一次性高效检测晶圆有无到位，整个检测方式在半导体自动化放置晶圆中起到了快速高效精准检测的有益技术效果。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海福赛特机器人有限公司
发明人：	薛刚
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201920089117.X
公开号：	CN209542485U
代理机构：	上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	陶金龙;张磊
分类号：	G01N21/952(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	200233 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室
主权项：	1.一种晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，包括：视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。 2.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述光源包括一垂直照明光源，以及一对位于其下方的第一侧向打光光源和第二侧向打光光源；其中，所述垂直照明光源提供垂直朝向所述盘表面的照明光，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源分别从所述盘的两个水平正交方向提供侧向的打光。 3.根据权利要求2所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述垂直照明光源为同轴光照明光源。 4.根据权利要求3所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述同轴光照明光源为环形灯。 5.根据权利要求2所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源为条形灯，两个所述条形灯按水平正交方向设置。 6.根据权利要求2所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述视觉检测模块、垂直照明光源和第一侧向打光光源设于一第一支架上，所述第二侧向打光光源设于一第二支架上。 7.根据权利要求2-6任一所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源相对于所述盘表面的位置可调。 8.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述视觉检测模块为相机。 9.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述视觉检测模块为投影仪。 10.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述盘上放置有多个晶圆。
所属类别：	实用新型