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原文传递提高单晶片反应器的生产能力

专利名称：	提高单晶片反应器的生产能力
摘要：	一种半导体基片加工系统，所述半导体基片加工系统包括可以布置进反应器中的单基片反应器和多晶片支座。所述系统在运行方面还包括自动基片传送组件(144)，所述的自动基片传送组件(144)包括操作杆阵列，用于把相应的多个晶片从反应器传送进和传送出，还包括多晶片盒(100)，用于向多个操作杆阵列同时地提供多个晶片。所述的多晶片改装使之易于把现有的单个晶片反应器升级，并且显示出提高反应器的生产能力，同时保留单个晶片反应器系统的膜均匀性和淀积加工控制上的优点。
专利类型：	发明专利
申请人：	高级技术材料公司
发明人：	迈克尔·J·坦圭
专利状态：	有效
申请日期：	2001-04-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN01808784.1
公开号：	CN1533347
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	谷惠敏;袁炳泽
分类号：	B65G1/00
申请人地址：	美国康涅狄格州
所属类别：	发明专利