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原文传递晶片加工操作台的本地储存器

专利名称：	晶片加工操作台的本地储存器
摘要：	一种缓冲装置(20)，包括：容纳多个水平移动机构、以储存承载器(27A、27B)和向/从装载口岸(29)传递承载器的一垂直移动机构；以及靠近缓冲装置的一或多个缓冲装载口岸，以借助于导引运送器、高架运送器或人工装载和卸载缓冲装置。一种缓冲系统包括缓冲装置(20)和加工系统装载口岸(29)，以从缓冲装置把承载器(27A、27B)传递到加工系统装载口岸(29)。
专利类型：	发明专利
申请人：	弗蒂卡尔索鲁申斯公司
发明人：	詹姆斯·G·萨基特;戴维·E·韦尔登;亚历山大·H·安德森
专利状态：	有效
申请日期：	2003-02-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03808324.8
公开号：	CN1646401
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	王景刚;李瑞海
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利