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基板处理方法
| 专利名称： | 基板处理方法 |
| 摘要： | 用于基板处理设施的基板处理方法，在保管在收纳架时以及由收纳 容器搬运装置搬运时，将收纳容器的盖设为关闭状态，利用风扇过滤单 元进行通风；并且在基板输入输出部中由基板搬运装置搬运基板时，将 收纳容器的盖设为打开状态，利用风扇过滤单元进行通风。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社大福 |
| 发明人： | 森屋进;池畑淑照 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-09-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710148958.5 |
| 公开号： | CN101145504 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 崔幼平 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本大阪府大阪市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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