专利名称: | 纵式基板运送装置及成膜装置 |
摘要: | 本发明提供与基板的运送姿势无关、在任意面上都能成膜、且可 与非成膜面不干涉地支承并运送基板的纵式基板运送装置和成膜装 置。本发明的成膜装置(1),备有可处理基板(W)的任意面地支承 着上述基板的托架(15)、变换托架(15)的运送姿势的第1姿势变换 部(3)、收容已变换了姿势的托架并将该托架运送到成膜室(10)的 运送室(9)。采用上述构造,可以与基板(W)的运送姿势无关地、 对任意面实施成膜处理。另外,在基板(W)的运送途中,可以变更 成膜面(Wa)。另外,可以使托架(15)不与基板(W) |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 株式会社爱发科 |
发明人: | 中村肇;谷口麻也子;石野耕司;进藤孝明;筒井润一郎;菊地幸男;斋藤一也 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-04-11T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200780007217.3 |
公开号: | CN101395711 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 何腾云 |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 日本神奈川 |
所属类别: | 发明专利 |