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原文传递纵式基板运送装置及成膜装置

专利名称：	纵式基板运送装置及成膜装置
摘要：	本发明提供与基板的运送姿势无关、在任意面上都能成膜、且可与非成膜面不干涉地支承并运送基板的纵式基板运送装置和成膜装置。本发明的成膜装置(1)，备有可处理基板(W)的任意面地支承着上述基板的托架(15)、变换托架(15)的运送姿势的第1姿势变换部(3)、收容已变换了姿势的托架并将该托架运送到成膜室(10)的运送室(9)。采用上述构造，可以与基板(W)的运送姿势无关地、对任意面实施成膜处理。另外，在基板(W)的运送途中，可以变更成膜面(Wa)。另外，可以使托架(15)不与基板(W)
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社爱发科
发明人：	中村肇;谷口麻也子;石野耕司;进藤孝明;筒井润一郎;菊地幸男;斋藤一也
专利状态：	有效
申请日期：	2007-04-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780007217.3
公开号：	CN101395711
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	何腾云
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川
所属类别：	发明专利